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日本三丰

CNC表面粗糙度·轮廓测量一体机 超级形状测量仪

简介:CNC表面粗糙度·轮廓测量一体机 超级形状测量仪
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详细说明

 • 高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。

• X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s,可以高速定位,从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。
• Z1轴检出器采用主动控制方式,减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
• Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置,当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时,检测装置可以自动停止工作。
• CS-5000CNC带有a轴,可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
• 带有Y轴工作台的型号,可沿Y轴进行多工件定位,从而增加了多工件测量范围。
• 可选的外部控制功能(外部I/O),与PLC实现双向通信(RS-232C)。
规格
 
货号 CS-5000CNC  CS-H5000CNC
X1 轴 测量范围 200mm 
分辨力 0.00625µm 
长度基准 激光全息测微计
驱动速度 CNC型 最大40mm/s 
操纵杆 0 - 40mm/s
测量速度  0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)
测量方向 向前/ 向后 
直线度 (使用标准测针)  (0.1+0.0015L)µm    L: 驱动长度 (mm)  (0.05+0.0003L)µm    L: 驱动长度 (mm)
(使用二倍长型测针) (0.2+0.0015L)µm    L: 驱动长度 (mm) (0.1+0.0015L)µm    L: 驱动长度 (mm) 
精度 (20ºC) ±(0.3+0.002L)µm    L: 驱动长度 (mm)  ±(0.16+0.001L)µm    L: 驱动长度 (mm)
Z1 轴 (检出器) 测量范围 (使用标准测针)  12mm 12µm
(使用二倍长型测针)  24mm 24µm
分辨力 (使用标准测针)  0.004 µm 0.001 µm
(使用二倍长型测针) 0.008 µm 0.002 µm
测针针尖垂直运动  弧形移动
长度基准  激光全息测微计
精度 (20ºC) (20ºC) ±(0.3+|0.02H|)µm  H: 测量高度 (mm)  ±(0.07+|0.02H|)µm  H: 测量高度 (mm)
测力 (使用标准测针)  4mN (固定)
(使用二倍长型测针)  0.75mN(固定)
跟踪角度 向上: 60º, 向下: 60º, (根据表面粗糙度)
测针针尖形状 标准测针 针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖 
标准球头测针 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 2倍测针
 2倍测针 针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖 
 2倍测针 -  针尖角度: 60º, 针尖半径: 2µm, 金刚石针尖 2倍球头测针
2倍球头测针 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 
测针方向  向下
Z2 轴 (立柱) 行程范围 Z2 轴 (立柱, S 型) 300mm
Z2 轴 (立柱, H 型) 500mm-
分辨力 0.05µm
长度基准 反射型线性编码器
驱动速度 CNC型  最大200mm/s 
 操纵杆  0 - 50mm/s 
基座尺寸 (W×D)  750×600mm
基座材料 花岗岩 
注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同,但材料的稳定性是值得信赖的。


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